六氟化硫可以制作新一代超高壓絕緣介質材料。作為良好的氣體絕緣體，被廣泛用于電子、電氣設備的氣體絕緣。電子級高純六氟化硫是一種理想的電子蝕刻劑，廣泛應用于微電子技術領域，用作電腦芯片、液晶屏等大型集成電路制造中的等離子刻蝕及清洗劑。在光纖制備中用作生產摻氟玻璃的氟源，在制造低損耗優質單模光纖中用作隔離層的摻雜劑。

　　還可用作氮準分子激光器的摻加氣體。在氣象、環境檢測及其他部門用作示蹤劑、標準氣或配制標準混合氣。在高壓開關中用作滅弧和大容量變壓器絕緣材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其化學穩定性好和對設備不腐蝕等特點，在冷凍工業上可用作冷凍劑(操作溫度- 45~0°C之間)。由于對a粒子有高度的停止能力，還用于放射化學。此外還作為一種反吸附劑從礦井煤塵中置換氧。

　　六氟化硫是一種窒息劑，在高濃度下會呼吸困難、喘息、皮膚和黏膜變藍、全身痙攣。吸入80%六氟化硫+ 20%的氧氣的混合氣體幾分鐘后,人體會出現四肢麻木，甚至窒息死亡。我國規定，操作間空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于6g/m 3或空氣中氧含量應大于18%；短期接觸，空氣中六氟化硫氣體的允許濃度不大于7.5g/m3六氟化硫在藥理上是惰性氣體，低毒但對人體有窒息作用。在生活或使用過程中會分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和氟氧化合物。

　　所以一定要注意六氟化硫的防范，采用合適的六氟化硫氣體檢測儀,它廣泛適用于采油、冶煉、化工、市政、污水處理、電力、煤氣、采礦、隧道施工、消防、倉儲、造紙、制藥、釀造等有毒有害氣體濃度的場所。以免出現中毒情況。

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